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              Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀

              產品時間:2023-11-01
              由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的,因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進行測量。廣泛用于研發和在線質量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩定性

              由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的,因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進行測量。廣泛用于研發和在線質量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩定性

              Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀特點

              可以非接觸、非破壞性方式測量薄膜厚度

              厚度范圍從 10 nm 到 1000 μm,多可測量三層

              不僅能測量薄膜厚度,還能測量光學乘數(n、k)(多達 3 個總參數)

              支持微小點測量

              還可測量濾光片顏料膜厚


              Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀測量原理

              假設在折射率為 n2 的基底上有一層厚度為 d、折射率為 n1 的薄膜,如圖所示。 考慮從空氣(折射率 n0)入射到薄膜上的光線。 光在美麗的路徑上被反射,在穿過薄膜并反射到基底表面的成分中,還有一個成分從薄膜中射出,可以作為反射光被捕獲。 由于光是一種波,這些反射成分會相互干涉。 考慮到入射光垂直于基底入射,這種干涉的減弱和加強取決于光學膜厚度 n d(即絕對膜厚度 n 乘以厚度 d)和波長。

              膜厚原理.png

              Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀技術規格

              型號TFW-100(1)TFW-100(2)TFW-100(3)
              用途ITO薄膜厚度一般膜厚用光片膜厚
              膜厚范圍10nm~500nm(C/F)150nm~1.5μm(C/F)500nm~10μm(C/F)
              500nm~15μm(FFT)1.5μm~60μm(FFT)
              測量重現性0.2%~1%(取決于膜材)
              波長范圍300nm~1000nm400nm~700nm900nm~1600nm
              光源Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀12V-100W 素燈
              測量軟件TF-Lab (曲線擬合法/ FFT法)




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